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晶圆划切时为什么要测高?
发布时间:2024-04-23 点击数:280


晶圆划片机是半导体封装加工技术领域内重要的加工设备目前市场上使用较多的是砂轮划片机砂轮划片机上高速旋转的金刚石划片刀在使用过程中会不断磨损如果划片刀高度不调整在工件上的切割深度会逐渐变浅。

 

为了保证测量结果的精准需要对划片刀的磨损程度进行在线检测根据划片刀磨损量调整主轴相对工作台的高度因此市面上的晶圆划片机均需要设置有用于对划片刀进行测高的测高装置通过测高装置对划片刀进行测高及时调整划片刀的高度尽可能保证加工时划片刀与工件的相对位置不变。

 

但是实际操作过程中,经常有刀片切到吸盘的情况,或者材料切不透,导致背崩严重,这都是测高不准造成的。


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