服务电话:400-6362-118
选刀还需关注加工条件
发布时间:2022-08-16 点击数:519

在晶圆划切过程中,不仅需要选择合适的划片刀,而且要关注加工条件的优化。合适的划片刀和良好的加工条件,对于获得好的切割效果起着至关重要的作用。


上期我们已经分析划片刀选型的几个关键因素,本期关注加工条件的影响。


加工条件主要涉及以下几个方面:


  • 主轴转速

  • 进给速度

  • 冷却水


主轴转速

刀片固定在划片机主轴上,以非常高的速度旋转,通常在每分钟25000至60000转之间,这就是我们通常所说的主轴转速。主轴转速是影响切割效果的关键因素之一。


在相同转速下,刀片外径不同,外圆线速度也不同。不同外径的刀片为了获得相同的外圆线速度,必须调整主轴转速,以保证切割质量及稳定性。


当主轴转速增加时,金刚石的加工负荷减少,从而提高刀片寿命,同时降低了被切产品正面崩边产生的风险。但是,金刚石加工负荷减少会阻碍刀片自锐,导致被切产品背面崩边发生率的增加。


降低主轴转速,加速刀片自锐,是减少被切产品背面崩边发生率的有效措施之一。


相同切割条件下,主轴转速越高,被切产品正面崩边尺寸越小,背面崩边尺寸则越大,刀片蛇形切割的发生概率也越高。 


为了使被切产品保持良好的切割质量,并达到预期的使用寿命,有必要根据被切产品的材料情况、刀片规格和加工质量要求对主轴转速进行合理选择。


进给速度

在切割过程中,我们移动台盘来实现切割速度的变化(1-300mm/s)。大家都知道工厂生产中,效率意味着成本。切割速度越高,效率越高。但是往往切割速度越高,刀片负载越高,切割品质会越差。因此优化切割速度实现高效率高品质的生产至关重要。


高进给速度下,每颗金刚石的负载也会增加,对崩边产生较大影响,同时,进给速度会影响刀片寿命。


进给速度越慢,背崩尺寸越小,刀片寿命越长。相反,进给速度越快,背崩尺寸越大,刀片磨损加大,刀片寿命也就越短。


冷却水

由于在划切中主轴高速旋转,在切割材料时,刀片与材料的接触处会产生很高的温度,稳定的划切冷却水流量,不仅在划切过程中可以起到冷却刀片的作用,还可以防止电击、电弧现象发生,同时冲掉划切过程中碾碎的碎粒,减少芯片表面的碎屑污染,提高划切品质。


划切冷却水,主要采用去离子水,可根据产品需要增加特殊附件,例如二氧化碳气体,以改变水质电阻值等。 


冷却水的流量和温度达到稳定时,划切品质才能达能最佳。冷却水流量的调节,包括喷嘴方向、高低、流量大小的调节。只有保证了足够的冷却效果,才能有效控制划切崩裂。


相关新闻:上一篇:背银晶圆划切实例
下一篇:划片刀怎么选?手把手教你