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造成晶圆切割过程中崩边的原因!
发布时间:2023-01-12 点击数:167

     晶圆切割主要采用金刚石砂轮刀,切割过程中可能会出现崩边,这是最常见的问题。崩边分为前崩边和后崩边,原因不同。这一次我们主要分析了前崩边的原因。

     正面崩边分为三类:

     1、早期崩边与新刀片安装有关,可能是由于刀片安装倾斜、刀片未修成真圆或金刚石未产生容削槽等原因造成的;

     2、循环崩边可能是由于刀片表面受到冲击,刀片表面有大颗粒金刚石凸起或其它外来杂质;

     3、造成其他崩边的原因有刀片偏置、进速和切割深度等问题,也有可能是由于工件有位移变形而导致的异常崩边。

     目前市场上常见的蓝膜主要有224和225,可根据需要选择不同粘度和要求的蓝膜。