划片刀对晶圆等硬脆材料进行切割，和木工用锯子锯木头是一个道理，锯子靠齿缝排木屑，刀片就得靠排屑槽排出切削废料，没有排屑槽，刀片再锋利也没法正常加工。

排屑槽是什么？

排屑槽就是刀片磨粒之间的空隙，属于刀片的“排废通道”，没有经过修磨的新刀片是没有现成排屑槽的，新刀上机后需通过修整（Dressing）或者预切割（Precut）才能形成，这也是为什么划片刀要搭配修刀板使用的原因，换刀不能省修整步骤，这不光是校准精度，更是给刀片开“排废通道”。

排屑槽两大核心作用

作用一，高效排屑：收集切削产生的硅屑、金属屑，把废料从切割槽里带出去，避免碎屑堵在刃口，导致负载飙升、刀片崩断；

作用二，冷却降温：带着冷却水直达切削点位，给高速旋转的刀片和晶圆降温，防止过热烧刀、晶圆崩边。

切割过程中有很多刀片断裂、崩边的问题，看似是参数或刀片质量问题，实则多半是排屑槽没开好，或者排屑槽堵塞导致碎屑排不出去的原因。

自锐性

说到排屑槽就不得不讲自锐性。金刚石划片刀与我们常见的菜刀、美工刀不一样，后者是越用越钝，前者是越用越锋利，这是因为金刚石刀有独特的自锐性。

自锐性产生的过程

1.切削过程中，固定磨粒的结合剂，会被切削负载、工件碎屑慢慢磨损，刀片直径也会随之小幅减小；

2.结合剂磨损后，原本钝化的旧磨粒会自然脱落，刃口立刻露出全新的锋利磨粒，形成新的切削面；

3.循环往复，刀片全程保持锋利切削状态，不用人工额外打磨，这就是自锐性。

自锐性是刀片的自带特性，如果操作不当、材质不匹配，自锐性失效，就会出现裹刀、釉化问题。

裹刀，切割时金属碎屑粘在刃口，或者切割胶带的胶渍粘附在刀片上，堵死磨粒和排屑槽导致。

釉化，结合剂把持力太强，磨粒无法自然崩碎、脱落，新磨粒露不出来。

两种不同情况的异常应该分别从修刀、更换胶膜、更换刀片等方面着手处理，有的放矢才能药到病除。